Innovating Works

PDC2023-145810-I00

Financiado
Materiales con funcionalidad eléctrica, magnética, óptica o térmica
FABRIGATE TIENE COMO OBJETIVO PRODUCIR DESARROLLOS TECNOLOGICOS EN DOS TEMAS ESENCIALES DE LA INDUSTRIA DE SEMICONDUCTORES: LA FABRICACION DE CONTACTOS METALICOS Y DE CONTACTOS DE PUERTA ELECTRONICA. PARA ELLO PRETENDEMOS APLICAR... FABRIGATE TIENE COMO OBJETIVO PRODUCIR DESARROLLOS TECNOLOGICOS EN DOS TEMAS ESENCIALES DE LA INDUSTRIA DE SEMICONDUCTORES: LA FABRICACION DE CONTACTOS METALICOS Y DE CONTACTOS DE PUERTA ELECTRONICA. PARA ELLO PRETENDEMOS APLICAR LAS IDEAS RECOGIDAS EN LA PATENTE “SISTEMA DE FABRICACION DE CONTACTOS ELECTRICOS Y METODO DE FABRICACION ASOCIADO”, PRESENTADA RECIENTEMENTE EN LA OFICINA ESPAÑOLA DE PATENTES (CODIGO DE SOLICITUD = ES1641.1882 ; NUMERO DE REFERENCIA = P202330821). ESTAS IDEAS SE GENERARON EN EL MARCO DEL PROYECTO ANTERIOR, PID2020-112914RB-I00, DONDE TAMBIEN PUBLICAMOS DOS ARTICULOS SOBRE EL TEMA:1) A. SALVADOR-PORROCHE, L. HERRER, S. SANGIAO, P. PHILIPP, P. CEA, J. M. DE TERESA, “HIGH-THROUGHPUT DIRECT WRITING OF METALLIC MICRO- AND NANO-STRUCTURES BY FOCUSED GA+ BEAM IRRADIATION OF PALLADIUM ACETATE FILMS”, ACS APPLIED MATERIALS AND INTERFACES 14, 28211 (2022)2) A. SALVADOR-PORROCHE, L. HERRER, S. SANGIAO, J. M. DE TERESA, P. CEA, “LOW-RESISTIVITY PD NANOPATTERNS CREATED BY A DIRECT ELECTRON BEAM WRITING PROCESS FREE OF POST-TREATMENT STEPS”, NANOTECHNOLOGY 33, 405302 (2022)EL PRINCIPAL PROBLEMA IDENTIFICADO EN LA TECNOLOGIA ACTUAL PARA EL CRECIMIENTO DE CONTACTOS/PATRONES METALICOS ES QUE LOS PROCESOS DE LITOGRAFIA EXISTENTES SON LENTOS PORQUE SE REQUIEREN VARIOS PASOS. ESTE ES EL CASO DE LA LITOGRAFIA OPTICA Y POR HAZ DE ELECTRONES, TECNICAS EN LAS QUE NECESITAMOS APLICAR UNA CAPA DE RESINA, REALIZAR LA EXPOSICION A LA LUZ O A LOS ELECTRONES, LLEVAR A CABO EL REVELADO DE LA RESINA Y FINALMENTE REALIZAR EL GRABADO Y LA ELIMINACION DE LA RESINA. ADEMAS, ES BIEN SABIDO QUE EL USO DE RESINAS DEJA RESIDUOS EN LA SUPERFICIE QUE PUEDEN SER PERJUDICIALES PARA LA FUNCIONALIDAD DEL DISPOSITIVO. LA ESTRATEGIA ALTERNATIVA PROPUESTA EN FABRIGATE CONSISTE EN EL USO DE PELICULAS ORGANOMETALICAS, COMO EL ACETATO DE PALADIO, QUE REQUIEREN DOSIS MUY BAJAS DE IONES PARA CREAR ESTRUCTURAS METALICAS. EL HECHO DE QUE LA PELICULA ORGANOMETALICA PUEDA DEPOSITARSE SOBRE UNA OBLEA COMPLETA, QUE LA DOSIS DE EXPOSICION A IONES SEA MUY BAJA Y QUE LA RESOLUCION SEA EXTREMADAMENTE BUENA INDICAN QUE LA TECNOLOGIA PROPUESTA ES POTENCIALMENTE COMPETITIVA PARA EL SECTOR INDUSTRIAL. FABRIGATE, SE AJUSTA BIEN A LOS SIGUIENTES TEMAS MENCIONADOS EN EL ARTICULO 8.1 DE LA CONVOCATORIA:MICRO/NANOELECTRONICA. DISEÑO, PROCESOS Y TECNOLOGIAS PARA:I) DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES Y MEMSII) CIRCUITOS INTEGRADOSEN PARTICULAR, NUESTRA TECNOLOGIA PUEDE SER DE INTERES PARA LAS SIGUIENTES APLICACIONES:-EDICION DE CIRCUITOS: INTERCONEXIONES PARA RECONFIGURACION DE CIRCUITOS INTEGRADOS, REEMPLAZANDO PROCESOS DE DEPOSICION INDUCIDA EN FASE GASEOSA.-REPARACION DE MASCARAS: REPARACION DE MASCARAS DE LITOGRAFIA OPTICA DEFECTUOSAS.-CONTACTOS METALICOS PARA MATERIALES SEMICONDUCTORES Y MATERIALES 2D.-CONTACTOS DE PUERTA SUPERIOR Y LATERAL PARA ARQUITECTURAS DE TRANSISTORES DE EFECTO DE CAMPO.-PELICULAS TRANSPARENTES CONDUCTORAS PARA OPTOELECTRONICA.-CIRCUITOS PARA TECNOLOGIAS CUANTICAS.EN FABRIGATE HEMOS REUNIDO UN EQUIPO DE INVESTIGACION CON MAS DE 25 AÑOS DE EXPERIENCIA EN MICRO Y NANOLITOGRAFIA APLICADA A TEMAS RELACIONADOS CON EL PROYECTO Y CON MAS DE 20 AÑOS DE EXPERIENCIA TRABAJANDO EN LA TRANSFERENCIA DE CONOCIMIENTO A LA INDUSTRIA. EL EQUIPO DE INVESTIGACION TAMBIEN DESTACA EN MENTORIA Y CAPACITACION DEL PERSONAL EN FORMACION Y EN GESTION DE INFRAESTRUCTURA, PROPORCIONANDO TODOS LOS INGREDIENTES NECESARIOS PARA DESARROLLAR UN PROYECTO EXITOSO. CONTACTOS ELECTRICOS\FIB-SEM\CIRCUITOS INTEGRADOS\PELICULAS ORGANOMETALICAS\NANOFABRICACION\LITOGRAFIA\DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES\CONTACTOS DE PUERTA ELECTRONICA ver más
01/01/2023
CSIC
290K€
Perfil tecnológico estimado

Línea de financiación: concedida

El organismo AGENCIA ESTATAL DE INVESTIGACIÓN notifico la concesión del proyecto el día 2023-01-01
Presupuesto El presupuesto total del proyecto asciende a 290K€
Líder del proyecto
AGENCIA ESTATAL CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGA... No se ha especificado una descripción o un objeto social para esta compañía.
Perfil tecnológico TRL 2-3 552M