Innovating Works

ULKCOND

Financiado
Duración del proyecto: 24 meses Fecha Inicio: 2016-03-11
Fecha Fin: 2018-03-31
Finalizado
Presupuesto del proyecto 161K€

Perfil tecnológico del proyecto Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Materials Science Electronics
Semiconductors Nanotechnology Electrical Engineering Manufacturing Processes

Palabras clave Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#Ultra Low K etch #CONDensation technique #transistor scaling #interconnects #low-k dielectrics #porous organo-silicate glasses #Damascene technique #dielectric permittivity