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EQC2021-006812-P

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Sistema de nanofabricación híbrido Mix&Match basado en nanolitografía de sonda t...

Sistema de nanofabricación híbrido Mix&Match basado en nanolitografía de sonda termal y escritura láser El NanoFrazor Explore (Heidelberg Instruments, Alemania) es un instrumento de nanolitografía de sonda termal. Es un equipo inexistente en nuestro país y permite realizar nanodipositivos con precisión de overlay de pocos nanómetr... ver más

01/01/2021

UPM

631K€

Presupuesto del proyecto: 631K€

Líder del proyecto

UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE MADRID No se ha especificado una descripción o un objeto social para esta compañía.

Total investigadores 3944

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Financiación concedida El organismo AGENCIA ESTATAL DE INVESTIGACIÓN notifico la concesión del proyecto el día 2021-01-01

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Participantes

UPM

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Líder del proyecto

UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE MADRID

Total investigadores 3944

Presupuesto del proyecto 631K€

Descripción del proyecto El NanoFrazor Explore (Heidelberg Instruments, Alemania) es un instrumento de nanolitografía de sonda termal. Es un equipo inexistente en nuestro país y permite realizar nanodipositivos con precisión de overlay de pocos nanómetros. Puede funcionar sobre casi cualquier material, dado que su uso no daña la superficie litografiada, lo que abre su aplicación virtualmente a cualquier ámbito de la ciencia moderna. El instrumento posee un sistema de circuito cerrado en el que se realiza la inspección y corrección de los parámetros de escritura in-situ, con lo que las litografías se pueden corregir sobre la marcha, una característica de especial interés para nuestros usuarios externos. Puede fabricar estructuras tridimensionales. Posee un módulo acoplado de escritura láser como concepto de litografía híbrida o mix&match, proporcionando a la máquina un alto rendimiento en la fabricación de nanodispositivos. Nuestro instituto es ICTS desde hace 20 años y presta servicios externos con regularidad, siendo esta modalidad de acceso más de un tercio de nuestra actividad. La Doctora que sería responsable de este equipo tiene amplia experiencia previa en su uso y ha sido pionera en varias de sus aplicaciones. La unicidad y aplicabilidad del Nanofrazor, la posición estratégica de nuestro instituto a nivel científico, geográfico y de ICTS, y nuestros estrechos contactos con la comunidad nacional e internacional en nanofabricación, garantizan el gran impacto de esta propuesta.

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