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UNSA13-3E-2691

Financiado

Presupuesto del proyecto 582K€

Perfil tecnológico del proyecto Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.

Nanotechnology Electronics
Nanofabrication Integrated Circuits Microelectronics Manufacturing Processes

Palabras clave Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto

#dry etching #nanomaterials #ICP #plasma etching #CMOS #nanodevices #submicrometric #nanometric

Participantes

USAL

Lider

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