MD3
Financiado
Presupuesto del proyecto
5M€
Perfil tecnológico del proyecto
Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Materials Science
Electronics
Nanotechnology Manufacturing Processes Semiconductors Process Engineering
Nanotechnology Manufacturing Processes Semiconductors Process Engineering
Palabras clave
Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#double patterning
#lithography
#wafer level
#overlay control
#Line Edge Roughness
#process throughput
#exposure
#etching
Lider
N.D. |
Participante