EUVPLASMA
Financiado
Duración del proyecto: 64 meses
Fecha Inicio: 2018-09-07
Fecha Fin: 2024-01-31
Finalizado
Fecha Fin: 2024-01-31
Finalizado
Presupuesto del proyecto
2M€
Perfil tecnológico del proyecto
Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Nanotechnology
Electronics
Manufacturing Processes Semiconductors Photonics Chemical Engineering
Manufacturing Processes Semiconductors Photonics Chemical Engineering
Palabras clave
Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#laser-driven plasma sources
#extreme ultraviolet light
#lithography
#Moore's law
#nanolithography
#high-volume manufacturing
#EUV lithography
#tin microdroplets
Lider
458.63K€ |
Participante