WOOPTIX will upgrade to a 300mm field of view (FoV) metrology system a ready-to-market 50mm field of view Wooptix´s tool, based on a disruptive technology that measures the phase component of a beam of light (wavefront sensor) wit...
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WOOPTIX
72.19 c.n.a.e. la investigación, desarrollo y diseño de tecnologías para la comunicación, imagen sonido, tecnología de la información, mecán...
TRL
4-5
| 130K€
Financiación
concedida
El organismo HORIZON EUROPE notifico la concesión del proyecto
el día 2024-09-30
Línea de financiación objetivo
El proyecto se financió a través de la siguiente ayuda:
PGC2018-101538-A-I00
SENSADO INTELIGENTE PARA NANOMETROLOGIA EN TIEMPO REAL USAND...
47K€
Cerrado
CNS2023-145717
Microelectrónica, nanotecnología y fotónica
200K€
Cerrado
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En las últimas 48 horas el Organismo ECE ha otorgado 2 concesiones
Descripción del proyecto
WOOPTIX will upgrade to a 300mm field of view (FoV) metrology system a ready-to-market 50mm field of view Wooptix´s tool, based on a disruptive technology that measures the phase component of a beam of light (wavefront sensor) with a naked sensor, reaching a resolution orders of
magnitude higher than other wavefront sensors. This technology has been patented by the company. The scalability of the solution will present an outstanding business opportunity for WOOPTIX leading the company to achieve an amazing turnover rise. Our semiconductor metrology system is capable
of measuring the full 300mm silicon wafer geometry with a lateral resolution of 3.2µm and a height resolution of 0.3nm acquired in a single image snapshot in 100ms while capturing 15 million data points. The system works by using a standard digital image sensor to acquire the intensity of
the reflected, non-coherent light from the silicon surface at two sperate locations along the optical path.
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