Sistema de elipsometría para el laboratorio de nanofabricación
La presente actuación está dirigida a la adquisición de un equipo de elipsometría espectroscópica que formará parte del laboratorio de nanofabricación (NanoLab @ ICFO) del ICFO-Instituto de Ciencias Fotónicas, El equipo permitirá...
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Financiación
concedida
El organismo AGENCIA ESTATAL DE INVESTIGACIÓN notifico la concesión del proyecto
el día 2008-01-01
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Descripción del proyecto
La presente actuación está dirigida a la adquisición de un equipo de elipsometría espectroscópica que formará parte del laboratorio de nanofabricación (NanoLab @ ICFO) del ICFO-Instituto de Ciencias Fotónicas, El equipo permitirá realizar metrología y caracterización óptica, no destructiva y sin contacto de un gran número de materiales y capas críticas para la mayoría de usuarios del laboratorio, Consideramos que la disponibilidad de este equipo contribuirá de forma decisiva a aumentar la calidad de los resultados obtenidos en un buen número de proyectos y actividades científico-técnicas, tanto de grupos del ICFO como de grupos y empresas externos al ICFO, a los que se facilita el acceso al laboratorio de nanofabricación,