Descripción del proyecto
EL OBJETIVO DEL PROYECTO ES LA FABRICACION DE MICROPALANCAS POLIMERICAS MEDIANTE TECNICAS DE INTERFERENCIA LASER CON EL FIN DE DESARROLLAR SENSORES NANOMECANICOS, EN LA FABRICACION DE PALANCAS BASADAS EN SILICIO SE UTILIZA HABITUALMENTE UNA COMBINACION DE TECNICAS DE DEPOSICION DE PELICULAS DELGADAS, FOTOLITOGRAFIA, GRABADO Y DOPADO, Y PARA MODIFICAR SU RIGIDEZ DEBE MODIFICARSE SU GEOMETRIA, O APLICAR UN RECUBRIMIENTO, CONTRARIAMENTE, LAS PALANCAS FABRICADAS CON POLIMEROS POSEEN PROPIEDADES MECANICAS Y QUIMICAS FACILMENTE MODULABLES Y ES POSIBLE VARIAR SU RIGIDEZ SELECCIONANDO EL POLIMERO SIN NECESIDAD DE RECUBRIMIENTOS, POR TANTO, UTILIZANDO MATERIALES POLIMERICOS, SE PUEDEN PRODUCIR PALANCAS CON LA MISMA GEOMETRIA Y DISTINTAS PROPIEDADES, LO QUE REDUCE LOS COSTES DE PRODUCCION Y SIMPLIFICA LA DETECCION, TIPICAMENTE EN EL PROCESO DE FABRICACION DE PALANCAS POLIMERICAS SE UTILIZAN PROCEDIMIENTOS SIMILARES A LOS UTILIZADOS PARA LAS DE SILICIO, EMPLEANDO VARIAS ETAPAS (DEPOSICION DE PELICULAS DELGADAS, FOTOLITOGRAFIA, ELIMINACION DEL MATERIAL Y SEPARACION DE LAS PALANCAS), ALTERNATIVAMENTE SE UTILIZAN TECNICAS DE INYECCION EN MOLDE, EN LAS QUE UN POLIMERO EN SU ESTADO FUNDIDO ES SOMETIDO A PRESION EN UN MOLDE CUYA FORMA DEFINIRA LAS DIMENSIONES DE LA PALANCA, EN ESTE PROYECTO SE PROPONE LA FABRICACION DE MICROPALANCAS POLIMERICAS EMPLEANDO TECNICAS DE INTERFERENCIA LASER, LA INTERFERENCIA LASER SE BASA EN LA MODIFICACION SELECTIVA DEL MATERIAL POR IRRADIACION CON DOS HACES COHERENTES Y PERMITE LA FABRICACION DE ESTRUCTURAS PERIODICAS A GRAN ESCALA SIN NECESIDAD DE EMPLEAR MASCARAS, OTRA VENTAJA DESTACABLE DE LA TECNICA ES QUE PUEDEN CONSEGUIRSE ESTRUCTURAS MICROMETRICAS MEDIANTE IRRADIACION CON UNO SOLO O MUY POCOS PULSOS,LOS OBJETIVOS ESPECIFICOS QUE SE PERSIGUEN EN EL PROYECTO SON LA ABLACION SELECTIVA Y COMPLETA DEL POLIMERO DE MANERA QUE SE OBTENGAN MATRICES DE MICROPALANCAS INDEPENDIENTES, Y LA POSTERIOR VALIDACION COMO SENSORES DE LAS PALANCAS FABRICADAS, LÁSER\INTERFERENCIA\MICROPALANCAS\POLÍMEROS