Innovating Works

PIN3S

Financiado
Duración del proyecto: 47 meses Fecha Inicio: 2019-05-13
Fecha Fin: 2023-04-30
Finalizado
Presupuesto del proyecto 119M€

Perfil tecnológico del proyecto Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Electronics Materials Science
Semiconductor Technology Manufacturing Processes Process Engineering Nanotechnology

Palabras clave Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#3nm Semiconductor technology #Process Integration #Lithography Equipment #EUV Mask Repair Equipment #Metrology tools #defects analysis #overlay #feature size evaluation