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PID2021-124439NB-I00

Financiado

PELICULAS DELGADAS NANOESTRUCTURADAS CRECIDAS POR PULVERIZACION CATODICA CON PLA...

PELICULAS DELGADAS NANOESTRUCTURADAS CRECIDAS POR PULVERIZACION CATODICA CON PLASMAS DE HELIO Y OTROS GASES LIGEROS LA PULVERIZACION CATODICA (MAGNETRON SPUTTERING-MS) ES UNA METODOLOGIA DE DEPOSICION FISICA DESDE FASE VAPOR (PVD) MUY USADA PARA LA FABRICACION DE PELICULAS DELGADAS Y RECUBRIMIENTOS. EN LA TECNICA MS SE EMPLEAN COMUNMENTE MEZCLA... ver más

01/01/2021

CSIC

115K€

Presupuesto del proyecto: 115K€

Líder del proyecto

AGENCIA ESTATAL CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGA... No se ha especificado una descripción o un objeto social para esta compañía.

TRL 2-3 | 552M€

Financiación concedida El organismo AGENCIA ESTATAL DE INVESTIGACIÓN notifico la concesión del proyecto el día 2021-01-01

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Participantes

CSIC

Lider

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Líder del proyecto

AGENCIA ESTATAL CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGA...

TRL 2-3 | 552M€

Presupuesto del proyecto 115K€

Descripción del proyecto LA PULVERIZACION CATODICA (MAGNETRON SPUTTERING-MS) ES UNA METODOLOGIA DE DEPOSICION FISICA DESDE FASE VAPOR (PVD) MUY USADA PARA LA FABRICACION DE PELICULAS DELGADAS Y RECUBRIMIENTOS. EN LA TECNICA MS SE EMPLEAN COMUNMENTE MEZCLAS DE AR O AR/N2-O2 (MS REACTIVO) COMO GAS DE PROCESO QUE SE IONIZARA EN UNA DESCARGA PARA CREAR EL PLASMA ADECUADO Y PULVERIZAR EL MATERIAL DEL BLANCO. EL GRUPO NANOMATMICRO HA SIDO PIONERO EN LA INTRODUCCION DE PLASMAS DE HELIO EN LA TECNOLOGIA DE PULVERIZACION CATODICA. AUNQUE LA TASA DE DEPOSICION PUEDE BAJAR, DEMOSTRAMOS LA FORMACION EN CONDICIONES CONTROLADAS DE NANOPOROSIDAD Y/O GAS ATRAPADO (NANOBURBUJAS DE HE Y N2) EN LAS PELICULAS PRODUCIDAS. EN PARTICULAR LAS LAMINAS SOLIDAS QUE CONTIENEN NANOPOROS LLENOS DE GAS TIENEN CARACTERISTICAS UNICAS: PERMITEN ATRAPAR UNA GRAN CANTIDAD DE GAS EN UN ESTADO CONDENSADO CON ALTA ESTABILIDAD Y PROPORCIONAN UNA RUTA PARA MODIFICAR LAS PROPIEDADES DEL MATERIAL PREPARADO. LA TECNICA MS ES FACIL DE ESCALAR Y MUCHO MAS BARATA QUE LAS TECNOLOGIAS ALTERNATIVAS BASADAS EN LA IMPLANTACION DE IONES DE ALTA ENERGIA. SOBRE ESTA BASE, PROPONEMOS SEGUIR DESARROLLANDO UNA METODOLOGIA BOTTOM-UP INNOVADORA Y VERSATIL PARA FABRICAR PELICULAS DELGADAS (SI, C, OTROS METALOIDES Y METALES) QUE PROMUEBA LA POROSIDAD ABIERTA O, POR EL CONTRARIO, PERMITA ESTABILIZAR LAS "NANOBURBUJAS" ATRAPADAS DEL GAS DE PROCESO (HE , NE, N2, H2 Y SUS ISOTOPOS). LA METODOLOGIA SE INVESTIGARA PRINCIPALMENTE PARA FABRICAR BLANCOS SOLIDOS Y ESTANDARES DEL GAS ATRAPADO PARA ESTUDIOS DE REACCIONES NUCLEARES. NUESTRO TRABAJO PERMITIRA QUE LOS GASES LIGEROS Y SUS ISOTOPOS ESTEN DISPONIBLES EN UN ESTADO CONDENSADO Y EN UN FORMATO FACIL DE MANEJAR SIN NECESIDAD DE CELDAS DE ALTA PRESION O DISPOSITIVOS CRIOGENICOS. JUNTO CON UNA RED DE INVESTIGADORES COLABORADORES DE LAS AREAS DE FISICA NUCLEAR Y ASTROFISICA, NUESTRO OBJETIVO ES LLEVAR ESTA APLICACION DESDE LA PRUEBA DE CONCEPTO HASTA LOS EXPERIMENTOS FINALES EN GRANDES INSTALACIONES. TAMBIEN CABE MENCIONAR QUE EL CONTROL DEL PROCESO DESDE ESTRUCTURAS CON GAS ATRAPADO A NANOPOROSAS PERMITIRA ESTUDIAR APLICACIONES ADICIONALES EN EL PROYECTO COMO DISPOSITIVOS OPTICOS, EMISORES DE LUZ UV O RECUBRIMIENTOS CATALITICOS. EL PROYECTO INCLUYE EL DISEÑO Y CONTROL DE PROCESO EN NUESTRAS CAMARAS DE MS PARA TRABAJAR CON LOS DIFERENTES GASES LIGEROS AQUI PROPUESTOS. SE SEGUIRAN IMPLEMENTANDO METODOLOGIAS DE BAJO CONSUMO PARA ISOTOPOS ESCASOS (POR EJEMPLO, 3HE). EL OBJETIVO FINAL ES IMPLEMENTAR UNA CONFIGURACION MEJORADA DE MS Y DESARROLLAR LA METODOLOGIA BOTTOM-UP PROPUESTA EN TERMINOS DE COMBINACIONES DE MATRIZ Y GAS, MEZCLAS DE GASES, VARIEDAD DE SOPORTES Y DISEÑOS AUTOSOPORTADOS O MULTICAPA QUE PERMITAN LAS APLICACIONES INNOVADORAS. UNA TAREA IMPORTANTE ES TAMBIEN DETERMINAR EL MECANISMO DE CRECIMIENTO DE LAS LAMINAS. LA CARACTERIZACION DEL PLASMA DURANTE EL PROCESO DE DEPOSICION Y EL USO DE LA HERRAMIENTA DE SIMULACION SRIM PUEDEN CONTRIBUIR EN GRAN MEDIDA A UNA MEJOR COMPRENSION Y CONTROL DE LOS PROCESOS DE CRECIMIENTO. PARA COMPRENDER LA MICROESTRUCTURA, COMPOSICION Y PROPIEDADES FISICO-QUIMICAS DE LOS NUEVOS MATERIALES, SE LLEVARA A CABO UNA CARACTERIZACION QUIMICA Y MICROESTRUCTURAL EN LA NANOESCALA CON UNA VARIEDAD DE TECNICAS. DESTACAN LAS MICROSCOPIAS ELECTRONICAS (TEM Y SEM) QUE INCLUYEN LA ESPECTROSCOPIA DE PERDIDA DE ENERGIA DE ELECTRONES Y LAS TECNICAS DE ANALISIS POR HAZ DE IONES PARA LA DETERMINACION DE LA COMPOSICION ELEMENTAL EN PROFUNDIDAD. ULVERIZACION CATODICA\DEUTERIO\HELIO-3\HELIO\FISICA NUCLEAR\BLANCOS SOLIDOS\NANOBURBUJAS\NANOPOROS\PROCESOS DE PLASMA\PELICULAS DELGADAS

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