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ICFO15-EE-3767

Financiado

Microscopio de iones de helio de alta resolución con capacidades litográficas

El microscopio de iones de helio (Helium Ion Microscope o HIM) es un nuevo tipo de microscopio que usa iones de helio para la creación de imágenes de superficie y análisis, Su funcionalidad es similar a la del microscopio de barri... ver más

01/01/2015

FUNDACIO INSTITUT...

900K€

Presupuesto del proyecto: 900K€

Líder del proyecto

FUNDACIO INSTITUT DE CIENCIES FOTONIQUES Otra investigación y desarrollo experimental en ciencias naturales y técnicas asociacion

TRL 4-5 | 50K€

Financiación concedida El organismo AGENCIA ESTATAL DE INVESTIGACIÓN notifico la concesión del proyecto el día 2015-01-01 No tenemos la información de la convocatoria

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Líder del proyecto

FUNDACIO INSTITUT DE CIENCIES FOTONIQUES Otra investigación y desarrollo experimental en ciencias naturales y técnicas asociacion

TRL 4-5 | 50K€

Presupuesto del proyecto 900K€

Descripción del proyecto El microscopio de iones de helio (Helium Ion Microscope o HIM) es un nuevo tipo de microscopio que usa iones de helio para la creación de imágenes de superficie y análisis, Su funcionalidad es similar a la del microscopio de barrido, pero con la principal particularidad de usar iones de helio en vez de electrones, Gracias al hecho de que los iones de helio pueden enfocarse en un menor volumen y por consiguiente proporcionan un volumen de interacción superficial mucho menor comparado con el de los electrones, se pueden conseguir imágenes con mucha mayor resolución, contraste (para distintos materiales) y profundidad de campo, La mayor resolución es debida principalmente a la tecnología usada para la extracción de los iones de helio, que consiste en una aguja extremadamente afilada y un proceso que extrae los átomos de la fuente individualmente hasta que se consigue crear una pirámide formada por sólo 3 átomos en el ápice de la fuente, El HIM permite conseguir resoluciones de 0,3nm a energías de aceleración de 25-30kV y permite generar corrientes entre 1fA y 25pA, El HIM también tiene similitudes con el FIB (Focused Ion Beam), usando un haz focalizado de iones de helio en vez de galio, En el caso del FIB se usan iones de galio para fabricar nanoestructuras de 20nm de resolución mientras que en el caso del HIM se pueden conseguir resoluciones de tan solo 1nm,

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