Microscopía correlativa AFM-SEM, crio-microscopía y crio-fabricación, litografía...
Microscopía correlativa AFM-SEM, crio-microscopía y crio-fabricación, litografía electrónica y de iones de alta velocidad.
El área FIB-SEM del Laboratorio de Microscopías Avanzadas (LMA) de la Universidad de Zaragoza es una sección clave para la ICTS infraestructura integrada de microscopía electrónica de materiales (ELECMI). Los tres equipos FIB-SE...
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Financiación
concedida
El organismo AGENCIA ESTATAL DE INVESTIGACIÓN notifico la concesión del proyecto
el día 2021-01-01
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Descripción del proyecto
El área FIB-SEM del Laboratorio de Microscopías Avanzadas (LMA) de la Universidad de Zaragoza es una sección clave para la ICTS infraestructura integrada de microscopía electrónica de materiales (ELECMI). Los tres equipos FIB-SEM del área dedican la mitad de su tiempo a preparar lamelas para microscopía electrónica de transmisión y el resto del tiempo está dedicado principalmente a nanofabricación, con un elevado impacto a nivel nacional e internacional. La última adquisición de infraestructura del área FIB-SEM del LMA se produjo en el año 2010. En los más de 10 años transcurridos, han surgido nuevas herramientas y accesorios que confieren un valor añadido a los actuales equipos FIB-SEM. En la presente convocatoria de infraestructura, solicitamos tres mejoras que proporcionarían ventajas competitivas a los científicos que hacen uso de la infraestructura del LMA. Estas ventajas incluyen: 1) La realización de estudios de microscopía correlativa AFM-SEM gracias a la instalación de un microscopio de sonda local (AFM) dentro de un equipo FIB-SEM. 2) La preparación en condiciones criogénicas de lamelas (ampliando el tipo e integridad de los materiales estudiados) y de procesos de nanofabricación, gracias a la instalación de un módulo criogénico en un equipo FIB-SEM. 3) Un mejor control de la columna de electrones y de iones en procesos de litografía electrónica y de iones que requieren alta velocidad y precisión, gracias a la incorporación de un nuevo módulo de control.