TEC2008-06698-C02-01
Financiado
Presupuesto del proyecto
102K€
Perfil tecnológico del proyecto
Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Electronics
Materials Science
Microelectronics Nanotechnology Electrical Engineering Materials Characterization
Microelectronics Nanotechnology Electrical Engineering Materials Characterization
Palabras clave
Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#dielectric layers
#high permittivity
#atomic layer deposition
#ALD
#microelectronic devices
#silicon substrates
#germanium substrates
#MOS transistors
Lider