Innovating Works

TEC2010-18051

Financiado
Presupuesto del proyecto 213K€

Perfil tecnológico del proyecto Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Electronics Materials Science
Microelectronics Semiconductors Nanotechnology

Palabras clave Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#high permittivity dielectrics #III-V semiconductors #MISFET devices #plasma deposition #defect density #high mobility substrates #rare earth dielectrics #22 nm technology node