Evaporador para el crecimiento de películas delgadas en alto vacío
CIC nanoGUNE cuenta con una sala blanca dedicada a la nanofabricación y que posee unas características únicas en su entorno, como su completa compatibilidad con sustratos de 100 mm de diámetro y la presencia de dos equipos de lito...
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Financiación
concedida
El organismo AGENCIA ESTATAL DE INVESTIGACIÓN notifico la concesión del proyecto
el día 2019-01-01
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Descripción del proyecto
CIC nanoGUNE cuenta con una sala blanca dedicada a la nanofabricación y que posee unas características únicas en su entorno, como su completa compatibilidad con sustratos de 100 mm de diámetro y la presencia de dos equipos de litografía electrónica capaces de alcanzar resoluciones menores a 10 nm, En un entorno de nanofabricación es muy importante contar con una serie de equipos auxiliares que permitan al usuario realizar procesos completos desde la preparación de los materiales hasta su caracterización y estructuración, En este sentido, solicitamos fondos para la compra de un evaporador de alto vacío provisto de dos tipos diversos de evaporación de materiales, un equipo de ataque físico por iones y una cámara de introducción rápida, Las características de este equipo nos permitirán ampliar los materiales disponibles en nuestra sala blanca, así como acometer procesos de fabricación con condiciones ideales en cuanto a limpieza de intercapas (gracias a la disponibilidad del ataque físico in-situ) y con un nivel ideal de rotación de usuarios (gracias a la cámara de introducción rápida), Con la compra de este equipo, que estará integrado dentro de nuestro sistema gestionado por profesionales con décadas de experiencia, CIC nanoGUNE podrá mantener sus instalaciones a la vanguardia de la investigación y abrirlas a un número mayor de investigadores, tanto internos como de centros públicos de nuestro entorno y de empresas privadas,