Cryoetch
Financiado
Duración del proyecto: 26 meses
Fecha Inicio: 2016-03-14
Fecha Fin: 2018-06-07
Finalizado
Fecha Fin: 2018-06-07
Finalizado
Presupuesto del proyecto
161K€
Perfil tecnológico del proyecto
Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Applied Physics
Materials Science
Nanotechnology Electronics Chemical Engineering Manufacturing Processes
Nanotechnology Electronics Chemical Engineering Manufacturing Processes
Palabras clave
Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#computer modelling
#plasma etching
#cryogenic etching
#surface interactions
#semiconductors
#plasma processing
#low-k materials
#gas mixtures
Lider
505.50K€ |
Participante