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MAT2008-05378

Financiado

CARACTERIZACION DEL DESGASTE Y EMISION DE ELECTRONES SECUNDARIOS INDUCIDOS POR B...

CARACTERIZACION DEL DESGASTE Y EMISION DE ELECTRONES SECUNDARIOS INDUCIDOS POR BOMBARDEO CON GASES NOBLES EN LAMINAS DELGADAS DE MGO DE APLICACION EN PANTALLAS DE PLASMA EN ESTE PROYECTO SE PRETENDE REALIZAR UN ESTUDIO SISTEMATICO DE LA VELOCIDAD DE DESGASTE (PERDIDA DE MATERIAL) DE LAMINAS DELGADAS DE MGO, JUNTO CON LA DETERMINACION DEL COEFICIENTE DE EMISION DE ELECTRONES SECUNDARIOS, EN CONDICI... ver más

01/01/2008

UC3M

15K€

Presupuesto del proyecto: 15K€

Líder del proyecto

UNIVERSIDAD CARLOS III DE MADRID No se ha especificado una descripción o un objeto social para esta compañía.

Total investigadores 1332

Financiación concedida El organismo AGENCIA ESTATAL DE INVESTIGACIÓN notifico la concesión del proyecto el día 2008-01-01

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Participantes

UC3M

Lider

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Líder del proyecto

UNIVERSIDAD CARLOS III DE MADRID

Total investigadores 1332

Presupuesto del proyecto 15K€

Descripción del proyecto EN ESTE PROYECTO SE PRETENDE REALIZAR UN ESTUDIO SISTEMATICO DE LA VELOCIDAD DE DESGASTE (PERDIDA DE MATERIAL) DE LAMINAS DELGADAS DE MGO, JUNTO CON LA DETERMINACION DEL COEFICIENTE DE EMISION DE ELECTRONES SECUNDARIOS, EN CONDICIONES SEMEJANTES A LAS DE LA CAPA PROTECTORA UTILIZADA EN LOS ELEMENTOS DE IMAGEN DE LAS PANTALLAS DE PLASMA, UNO DE LOS OBJETIVOS PRIORITARIOS ES LA REALIZACION, MONTAJE Y PUESTA A PUNTO DE DOS DISPOSITIVOS NECESARIOS PARA LA MEDIDA DE ESTAS DOS PROPIEDADES DE FORMA OPTIMA, LOS PARAMETROS DE VARIACION SERAN, POR UNA PARTE, EL GROSOR DE LA LAMINA, EL TIPO DE SUBSTRATO Y LA TEMPERATURA DE CRECIMIENTO, Y POR OTRA, LA PRESION Y EL TIPO DE GAS UTILIZADO PARA EL DESGASTE POR BOMBARDEO, LA MEDIDA DE LA EMISION SECUNDARIA DE ELECTRONES EN MATERIALES AISLANTES PRESENTA UN PROBLEMA INTRINSECO DEBIDO A LA ACUMULACION DE CARGA EN LA SUPERFICIE DE LA MUESTRA, PARA REDUCIR ESTE EFECTO, SE UTILIZARA UN HAZ DE IONES PULSADO, ADEMAS, LA LAMINAS SE CALENTARAN A TEMPERATURAS COMPRENDIDAS ENTRE 300 Y 700K,SE REALIZARA LA CARACTERIZACION CRISTALOGRAFICA, MICROESTRUCTURAL, DIELECTRICA Y DE SUPERFICIES DE ESTAS LAMINAS ANTES Y DESPUES DEL DESGASTE POR PULVERIZACION CON IONES DE AR+ Y MEZCLAS DE IONES DE HE+, XE+ Y NE+, emisión secundaria de electrones\pulverización catodica\MgO\celdas de pantallas de plasma\carga superficial\relajación dieléctrica

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