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EQC2021-006919-P

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Ampliación de la Sala Blanca para un sistema de deposición física de vapor (PVD)...

Ampliación de la Sala Blanca para un sistema de deposición física de vapor (PVD) multi-oblea y con control del ángulo del eje de rotación. Necesitamos incorporar a nuestra Sala Blanca de Nanotecnología un sistema avanzado y multipropósito de deposición física de vapor (PVD) que nos permita solventar una de las principales carencias de nuestro servicio como es el re... ver más

01/01/2021

USAL

707K€

Presupuesto del proyecto: 707K€

Líder del proyecto

UNIVERSIDAD DE SALAMANCA No se ha especificado una descripción o un objeto social para esta compañía.

Total investigadores 1151

Fecha límite participación Sin fecha límite de participación.

Financiación concedida El organismo AGENCIA ESTATAL DE INVESTIGACIÓN notifico la concesión del proyecto el día 2021-01-01 No tenemos la información de la convocatoria

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Líder del proyecto

UNIVERSIDAD DE SALAMANCA No se ha especificado una descripción o un objeto social para esta compañía.

Total investigadores 1151

Presupuesto del proyecto 707K€

Fecha límite de participación Sin fecha límite de participación.

Descripción del proyecto Necesitamos incorporar a nuestra Sala Blanca de Nanotecnología un sistema avanzado y multipropósito de deposición física de vapor (PVD) que nos permita solventar una de las principales carencias de nuestro servicio como es el recubrimiento con materiales dieléctricos a escala nanométrica para pasivación y fabricación de puertas, combinado al mismo tiempo con la evaporación de metales para la fabricación de contactos óhmicos. Este nuevo sistema deberá cargar simultáneamente al menos 12 obleas de 100 mm lo que nos permitirá ofertar la fabricación de series de dispositivos y reducir nuestro consumo de materias primas escasas.Un equipamiento con estas características tiene escasa o nula implantación en España pero son fundamentales para las nuevas tecnologías cuánticas. Entre ellas destacamos el control del ángulo de la evaporación permitiendo al mismo tiempo la rotación de la oblea lo que permite la fabricación de estructuras 3D como nanohélices con quiralidad controlada. Nos permitirá así mismo la fabricación de nanosquids y nanopuentes que serán fundamentales para los proyectos de varios de nuestros usuarios habituales. Para su instalación ampliaremos nuestra Sala Blanca incorporando una sala anexa. El nuevo espacio tendrá clasificación ISO7 y se accederá desde la sala de litografía. El coste de esta ampliación junto con las instalaciones técnicas necesarias para el sistema de PVD también se incluyen en esta solicitud

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