TAKEMI5
Financiado
Duración del proyecto: 30 meses
Fecha Inicio: 2017-05-15
Fecha Fin: 2019-11-30
Finalizado
Fecha Fin: 2019-11-30
Finalizado
Presupuesto del proyecto
133M€
Perfil tecnológico del proyecto
Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Electronics
Software
Integrated Circuits Lithography Process Engineering Nanotechnology
Integrated Circuits Lithography Process Engineering Nanotechnology
Palabras clave
Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#5 nm
#module integration
#lithographic technologies
#metrology
#EUV lithography
#DUV scanners
#integrated circuits
#process development
Lider
N.D. |
Participante
202.89K€ |
Participante