Hola,
¿eres nuevo aquí?

Regístrate gratis y conecta tu empresa con financiación pública, partners y proyectos.

Tengo cuenta

Regístrate

Ver video

MICROSEM

Financiado

Cerrado

Super resolution microscopy for semiconductor metrology

Super-resolution microscopy has revolutionized imaging by breaking what was believed to be unbreakable: the diffraction limit – which determines what a microscope can resolve. However, many disciplines in science and engineering c... ver más

31/03/2026

NWO-I

150K€

Presupuesto del proyecto: 150K€

Líder del proyecto

STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZ... No se ha especificado una descripción o un objeto social para esta compañía.

TRL 4-5

Fecha límite participación Sin fecha límite de participación.

Financiación concedida El organismo HORIZON EUROPE notifico la concesión del proyecto el día 2024-09-23

ERC-2024-POC: ERC PROOF OF CONCEPT GRANTS Objective:ObjectivesThe ERC Proof of Concept Grants aim at facilitating exploration of the commercia...

I+D

Cerrada

0% 100% 100%

Características del participante

Este proyecto no cuenta con búsquedas de partenariado abiertas en este momento.

Información adicional privada

No hay información privada compartida para este proyecto. Habla con el coordinador.

1 Participantes

NWO-I

150.00K€ | Lider

Conecta tu I+D

¿Tienes un proyecto y buscas un partner? Gracias a nuestro motor inteligente podemos recomendarte los mejores socios y ponerte en contacto con ellos. Te lo explicamos en este video

Duración del proyecto: 18 meses Fecha Inicio: 2024-09-23
Fecha Fin: 2026-03-31

Líder del proyecto

STICHTING NEDERLANDSE WETENSCHAPPELIJK ONDERZ... No se ha especificado una descripción o un objeto social para esta compañía.

TRL 4-5

Presupuesto del proyecto 150K€

Fecha límite de participación Sin fecha límite de participación.

Descripción del proyecto Super-resolution microscopy has revolutionized imaging by breaking what was believed to be unbreakable: the diffraction limit – which determines what a microscope can resolve. However, many disciplines in science and engineering cannot benefit from super-resolution microscopy, because practically all current super-resolution microscopes require fluorescence, often introduced by labelling – that is chemically modifying – the samples of interest. The semiconductor industry is the driver of digitization by producing ever smaller integrated circuits for faster computer chips, and has worldwide importance. The critical dimensions of the latest generation of chips are in the nanometer range, enabled by the breakthrough technology of extreme-ultraviolet nanolithography. An efficient production process requires constant quality inspection of the printed features, either directly on the integrated circuits or on dedicated metrology targets. However, the resolution of current all-optical microscopy-based metrology methods cannot keep pace with the fast development of smaller structures by nanolithography. Within my ERC Starting Grant, I demonstrated that high-harmonic generation – that is the frequency upconversion of laser pulses – can be optically suppressed and spatially confined in semiconductors without the need for labelling. This can be utilized as sub-diffraction emission for super-resolution scanning microscopy. I will further develop this technique in MICROSEM in order to reach resolution below 100 nm in a conventional optical microscope operating in the visible and ultraviolet region, without the need of complicated vacuum equipment. This will enable crucial applications for semiconductor wafer metrology. I will demonstrate new in-device metrology, and pave the way for additional advanced at-resolution metrology schemes. To ensure knowledge transfer I enlisted one of the key players in the semiconductor industry as collaborator for MICROSEM.

Conecta tu I+D

Entra hoy

¿Olvidé mi contraseña?

Financiación

Empresas

CTIs/Universidades

Proyectos

Investigadores