SEAL
Financiado
Presupuesto del proyecto
14M€
Perfil tecnológico del proyecto
Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Electronics
Materials Science
Semiconductor Manufacturing Process Engineering Metrology Nanotechnology
Semiconductor Manufacturing Process Engineering Metrology Nanotechnology
Palabras clave
Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#semiconductor manufacturing
#equipment assessment
#metrology
#lithography
#EUV mask manufacturing
#ion implantation
#defect engineering
#low temperature oxidation
Lider