OXIDOS MIXTOS DISEÑADOS MEDIANTE MEZCLADO REACTIVO POR HACES DE IONES
EN ESTE PROYECTO ABORDAREMOS NUEVAS ALTERNATIVAS EN LA SINTESIS DE PELICULAS DELGADAS DE OXIDOS MIXTOS DE FORMA QUE SEA POSIBLE DISEÑAR PELICULAS CON PROPIEDADES SINTONIZABLES ENTRE AQUELLAS ESPECIFICAS ATRIBUIBLES A LOS OXIDOS BI...
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Descripción del proyecto
EN ESTE PROYECTO ABORDAREMOS NUEVAS ALTERNATIVAS EN LA SINTESIS DE PELICULAS DELGADAS DE OXIDOS MIXTOS DE FORMA QUE SEA POSIBLE DISEÑAR PELICULAS CON PROPIEDADES SINTONIZABLES ENTRE AQUELLAS ESPECIFICAS ATRIBUIBLES A LOS OXIDOS BINARIOS QUE LAS CONSTITUYEN PARA SU UTILIZACION COMO PELICULAS DE INDICE DE REFRACCION VARIABLE EN APLICACIONES FUNCIONALES Y/O ESTRUCTURALES, MEDIANTE LA ELECCION ADECUADA DE LOS OXIDOS MIXTOS SE PRETENDE DISEÑAR A MEDIDA LAS PROPIEDADES OPTICAS DE LA PELICULA Y TAMBIEN CONSEGUIR UNA MEJORA EN EL COMPORTAMIENTO TRIBOLOGICO Y DE ESTABILIDAD QUIMICA DE LAS MISMAS, SE CRECERAN PELICULAS DE OXIDOS MIXTOS BASADAS EN METALES DE TRANSICION, POR EJEMPLO CR Y HF, Y SI O AL, UTILIZAREMOS METODOS DE SINTESIS QUE EMPLEAN HACES DE IONES (MEZCLADO POR HACES DE IONES Y SPUTTERING MAGNETRON REACTIVO) Y EN PARTICULAR PRETENDEMOS EXPLORAR LA POSIBILIDAD DE SINTETIZAR LAS PELICULAS MEDIANTE EL METODO NOVEDOSO DE PRODUCIR EL MEZCLADO POR HACES DE IONES DE O2+ SOBRE BICAPAS, EL MEZCLADO SE LLEVARA A CABO TANTO A BAJA ENERGIA (06 KEV), PARA PELICULAS DE ESPESORES POR DEBAJO DE 100 A, COMO A ENERGIAS ELEVADAS 200-300 KEV, PARA PELICULAS DE ESPESOR EN EL RANGO DE LOS 2000 A, COMO TECNICAS DE ANALISIS PARA LA CARACTERIZACION SE UTILIZARAN TECNICAS DE ANALISIS SUPERFICIAL (AES, XPS, ARXPS, ISS, UPS) ASI COMO RBS, GDOES, DIFRACCION DE RAYOS-X, AFM Y TECNICAS DE CARACTERIZACION OPTICA, SE BUSCARA LA CORRELACION ENTRE LAS PROPIEDADES FISICO-QUIMICAS DE LAS PELICULAS CON LOS PARAMETROS EXPERIMENTALES DE LA DEPOSICION CON OBJETO DE OBTENER PELICULAS CON PROPIEDADES ESPECIFICAS DE UNA MANERA CONTROLABLE, SE DETERMINARA TAMBIEN LA INFLUENCIA DE LOS PARAMETROS EXPERIMENTALES DE AMBAS TECNICAS DE SINTESIS SOBRE LAS FASES QUE SE FORMAN, ASI COMO SOBRE LA CINETICA DE CRECIMIENTO DE LA PELICULA, óxidos mixtos\interacción ión-sólido\mezclado por haces de iones\"sputtering" reactivo\propiedades ópticas\ARXPS
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