Innovating Works

NADIA

Financiado
Duración del proyecto: 28 meses Fecha Inicio: 2020-04-06
Fecha Fin: 2022-08-31
Finalizado
Presupuesto del proyecto 178K€

Perfil tecnológico del proyecto Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Materials Science Nanotechnology
Semiconductors Manufacturing Processes Nanomaterials Process Engineering

Palabras clave Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#area selective deposition #nanoscale patterning #BEOL #ALD #semiconductor technology #lithographic processes #process integration #10nm node