Innovating Works

MEMS MATURITY

Financiado
Presupuesto del proyecto 764K€

Perfil tecnológico del proyecto Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Electronics Mechanical Engineering
Sensor Technology Manufacturing Processes Embedded Systems Aerospace Engineering

Palabras clave Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#MEMS #gyro cell #performance assessment #inertial sensors #manufacturing optimization #Deep Reactive Ion Etching #SOI substrate #mechanical structures