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Línea de Fotolitografía Avanzada para la Fabricación de Células Solares de Tercera Generación (LabCell30)
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Descripción del proyecto
Este proyecto tiene como fin el montaje de una línea de fotolitografía de última generación en el Laboratorio de Fabricación de Células Solares (LabCell) del Instituto de Energía Solar de la Universidad Politécnica de Madrid. Se trata de una instalación especialmente concebida para la fabricación de células solares de tercera generación, abarcando una amplísima variedad de materiales, configuraciones estructurales y posibles aplicaciones desde células basadas en materiales 2D para su integración en ropa, ventanas o accesorios, hasta células tándem de silicio que podrían suponer la siguiente generación grandes plantas o células termofotovoltaicas para extraer potencia eléctrica en baterías de calor latente. Estos y otros dispositivos que se detallan en la memoria comparten necesidades tecnológicas que serían resueltas por esta línea: procesamiento bifacial, formación de nanoestructuras, versatilidad de sustratos y materiales, y todo ello en grandes áreas (200mm).El equipo central de esta actuación es un alineador de máscaras de fotolitografía capaz de manejar obleas de hasta 200mm, realizar alineamiento trasero y delantero y ofrecer capacidades para NIL y pegado de obleas. Además, se busca complementar la línea con equipos de depósito y curado de resinas adaptados a obleas de 200mm, y otros equipos auxiliares. La actuación contempla también la ampliación y adecuación de la sala de fotolitografía del LabCell para albergar estos equipos en condiciones óptimas.
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