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UCAN08-4E-017

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CROMATOGRAFO IONICO PARA DETERMINACION DE TRAZAS DE ANIONES EN PRODUCTOS QUIMICO...

CROMATOGRAFO IONICO PARA DETERMINACION DE TRAZAS DE ANIONES EN PRODUCTOS QUIMICOS PARA LA INDUSTRIA DE SEMICONDUCTORES La industria de la fabricación de semiconductores requiere compuestos químicos de gran pureza, especialmente en la fabricación de obleas de silicio, siendo el ácido fluorhídrico y el peróxido de hidrógeno dos de los productos más... ver más

01/01/2008

UNICAN

75K€

Presupuesto del proyecto: 75K€

Líder del proyecto

UNIVERSIDAD DE CANTABRIA No se ha especificado una descripción o un objeto social para esta compañía.

Total investigadores 471

Fecha límite participación Sin fecha límite de participación.

Financiación concedida El organismo AGENCIA ESTATAL DE INVESTIGACIÓN notifico la concesión del proyecto el día 2008-01-01 No tenemos la información de la convocatoria

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Líder del proyecto

UNIVERSIDAD DE CANTABRIA No se ha especificado una descripción o un objeto social para esta compañía.

Total investigadores 471

Presupuesto del proyecto 75K€

Fecha límite de participación Sin fecha límite de participación.

Descripción del proyecto La industria de la fabricación de semiconductores requiere compuestos químicos de gran pureza, especialmente en la fabricación de obleas de silicio, siendo el ácido fluorhídrico y el peróxido de hidrógeno dos de los productos más demandados, La calidad de estos productos, expresado como nivel máximo permitido de impurezas metálicas y aniónicas se debe adecuar a las normas SEMI (C28, C29 y C30), El grupo solicitante posee experiencia en la purificación de disoluciones de ácido fluorhídrico mediante cambio iónico y membranas, y de la caracterización de impurezas metálicas en el producto purificado con ICP-MS, Sin embargo, la caracterización de impurezas aniónicas no ha podido ser realizada, ya que en matrices agresivas, como alguno de los productos empleados en la industria de semiconductores (HF, H2O2) no pueden emplearse cromatógrafos iónicos convencionales, Por ello, la propuesta implica la adquisición de un cromatógrafo iónico dotado por un lado de dispositivos que permitan medir iones a nivel de trazas (que incluya generador de eluyentes para garantizar la pureza de estos, columna concentradora de trazas y columna autosupresora para aniones), y por otro que permita analizar productos corrosivos, es decir que las partes en contacto con la muestra sean inertes; esto permitiría la determinación de las impurezas aniónicas en HF, así como en disoluciones concentradas de peróxido de hidrógeno, cuya purificación constituye actualmente uno de los objetivos del grupo solicitante,

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