14ACMOS
Financiado
Duración del proyecto: 36 meses
Fecha Inicio: 2022-11-27
Fecha Fin: 2025-11-30
Finalizado
Fecha Fin: 2025-11-30
Finalizado
Presupuesto del proyecto
95M€
Perfil tecnológico del proyecto
Se calculan automáticamente a través de las palabras clave.
Electronics
Applied Physics
Integrated Circuits Nanotechnology Optoelectronics Quantum Mechanics
Integrated Circuits Nanotechnology Optoelectronics Quantum Mechanics
Palabras clave
Extraídas de toda la información encontrada de este proyecto
#14A Semiconductor technology
#IC technology
#Lithography
#Metrology
#Optics
#Plasma physics
#EUV reticle degradation
#X-ray sources
Lider
28.18K€ |
Participante
300.49K€ |
Participante